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试块法-超声波检测缺陷定量1

日期:2024-05-01 12:53
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摘要: 缺陷定量包括确定缺陷的大小和数量, 而缺陷的大小指缺陷的面积和长度。一般超声波缺陷定量可以分为小于晶片直径的缺陷定量和大于晶片直径的缺陷定量。 ①小于晶片直径的缺陷定量包括等效试块直接比较法(试块法)、当量计算法(计算法)、AVG曲线法和底波高度百分比法。 ②大于晶片直径的缺陷定量包括相对灵敏度测量方法(测长法),绝_对灵敏度测量方法,极坐标作图方法,包络作图方法(超声C扫描)和标准图形参考比较方法(超声C扫描)。 各种均有一定的局限性,除了传统的缺陷...

       缺陷定量包括确定缺陷的大小和数量, 而缺陷的大小指缺陷的面积和长度。一般超声波缺陷定量可以分为小于晶片直径的缺陷定量和大于晶片直径的缺陷定量。

      ①小于晶片直径的缺陷定量包括等效试块直接比较法(试块法)、当量计算法(计算法)、AVG曲线法和底波高度百分比法

      ②大于晶片直径的缺陷定量包括相对灵敏度测量方法(测长法),绝_对灵敏度测量方法,极坐标作图方法,包络作图方法(超声C扫描)和标准图形参考比较方法(超声C扫描)。

       各种均有一定的局限性,除了传统的缺陷定量方法之外,精_确的缺陷定量还使用聚焦探针和各种声学成像装置等。

1.试块法

         将工件中的自然缺陷回波与试块上的人工缺陷回波进行比拟来对缺陷定量的方法。

         加工制作一系列含有不问声程、不同尺寸的人工缺陷(如平底孔)试块,检测中发现缺陷时,将工件中自然缺陷回波与试块上人工缺陷回波进行比拟。当同声程处的自然缺陷回波与某人工缺陷回波高度相等时,该人工缺陷的尺寸就是此自然缺陷的当量大小。

         利用试块法对缺陷定量要尽鱼使试块与被探工件的材质、外表光洁度和形状一致,并且其他探测条件不变如仪器、探头、灵敏度(增益)、超声C扫描的水距、入射角度等。

         试块法特点:试块法是超声波检测中应用较早的一种定量方法,其优点是直观易懂, 当量概念明确, 定量稳妥可靠。 但这种方法需要制作大量试块,本钱高。 同时操作现场检测要携带试块,较不方便。 因此试块法一般在特别重要零件的精_确定量时使用,如航空航天和一些高_端制造业中。尤其注意:由于在距离小于3倍探头近场区(3N)的情况下,计算法不适用,因此在采用水浸C扫描聚焦探头和探头近场区内的检测中,一般采用试块法检测。常规各探头近场区数据如下:N ≈ 直径平方 / (4 * 波长) ,波长 = 声速 / 探头频率。